W monografii zaprezentowano metody korekcji ilościowej mikroanalizy rentgenowskiej cienkich warstw i układów wielowarstwowych o grubości od kilku nanometrów wzwyż.Monografia dedykowana jest użytkownikom metody mikroanalizy rentgenowskiej, zwłaszcza tych dziedzin nauki i techniki, w których opracowuje się i wytwarza nowe materiały (inżynieria materiałowa, elektronika, optyka, fizyka, chemia). Może stanowić pomoc w badaniach praktycznych, związanych z kontrolą jakości materiałów i wyrobów oraz oceną ich degradacji, a także w kontroli zanieczyszczeń środowiska, geo- i kosmochemii, ekspertyzach sądowych itp. Stanowi również podręcznik dla studentów i doktorantów w dziedzinie inżynierii materiałowej, metalurgii, fizyki i chemii.